BUTTMANN Vacuum ■ Plasma ■ Systems
Vakuumkomponenten
Vacuum Components
Vakuumventile
Vacuum Valves
Gaseinlassventile
Belüftungsventile
Stromausfallfluter
Gas / Vacuum Valves
Vent Valves
Power Failure Vent Valves
Heizbänder - Heizleitungen - Heizplatten - Heizmanschetten
Heating Tapes - Heating Elements - Heating Plates - Heating Jackets
D-SUB Vakuumdurchführungen
SUB-D Vacuum Feedthroughs
Sputter-Targets
Arc-Kathoden
Sputtering Targets
Cathodic Arc-Evaporation-Cathodes
Sputter-Magneton-Kathoden
Planare Magnetrons
Sputtering Magnetron Cathodes
Planar Magnetrons
Zylindrische Magnetrons
Rohrkathoden
Rotatable Cylindrical Magnetrons
Mikrowellen-Plasmaquellen, MW-Generatoren, MW-Magnetrons
Microwave Plasma Sources, MW-Generators, MW-Magnetrons
Plasmastromversorgungen
DC Sputter-Generatoren
DC Plasma Generators
Sputter Power Supplies
DC Puls-Einheiten
HiPIMS
Uni- und bipolar
DC Pulse Units
HPPMS
Uni- and bipolar
LF, MF und HF Generatoren
LF, MF und RF Generators
Anpassnetzwerke
Matching Networks
Optische Plasma-Emissionsspektrometer
Prozessgasregelungen
Endpunkterkennung
Ionenimplantation, Mikrobeschleuniger, PVD-Beschichtung für Metall, Kunststoff, Glas, Pulver